| ||||
|
Главная страница » Энциклопедия строителя содержание: [стр.Введение] [стр.1] [стр.2] страница - 2 2.Карманов В.Т., Хохлов А.Ф. и др. Влияние радиационных дефектов на диффузию примесей в кремнии. ФТП. 1977 т. 11 вып. 10, с. 1871. 3.Самарский А. А., Гумен А.В. Численные методы. М.: Высшая школа, 1989. 4.Шауцуков А.Г., Грачёв А.А. Оптимизация режимов фотонного отжига ионно-легированных слоёв СБИС. В сб.: Материалы докладов международного научно-технического семинара. Шумовые и деградационные процессы в полупроводниковых приборах. Москва 1999, с.261-266. содержание: [стр.Введение] [стр.1] [стр.2] |
|||
© ЗАО "ЛэндМэн" |